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我国首条光刻用石英玻璃基板成套出产线建成
2016/6/12 0:00:00起源: 中国构筑资料科学钻研总院

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  近日,口袋德州官网总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色造作技术,在株洲成立了国内首条从基板原资料造作到产品加工的成套出产线 。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板,突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面 。

       该出产线的成立,是口袋德州官网总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一 。石英玻璃基板是集成电路芯片造作工艺中的主题器件,市场需要量巨大 。作为石英玻璃基板的原资料,合成石英玻璃拥有热不变性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多利益 。然而,受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆个性等造约,我国石英玻璃基板持久依赖进口 。

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  作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所,口袋德州官网总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源,形成了循环经济产业链,成立了高机能石英玻璃研发基地,并成立中建材株洲金格兰石英有限公司 。经科研人员不懈致力,形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线,不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题,同时实现了原资料绿色造作 。石英院还引入多刀切割、安全急剧磨抛工艺,创造性地开发了熔拉造坯、数控倒角等技术,解决了石英玻璃基板加工精度的难题 。从基板原资料造作到产品加工,石英院形成专利20余项,行业尺度、国军标及国度尺度10余项,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品,不仅逐步代替进口,实现了集成电路蹬酌高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化,并且出口欧洲、日本等国 。

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